取扱い商品 – Magma350半導体グレード シリーズ（Magma O-ring）
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Magma O-ring（マグマオーリング）
Magma350半導体グレード シリーズ
商品のご紹介
Magma350は半導体、液晶製造装置用耐プラズマ用に開発され重金属の極めて少ないポリマーです。
主な使用用途としてDRYエッチャーやアッシング装置、開閉弁のシールに使用可能で、パーティクル発生量が少ない材質です。
使用部位
スリットブルブ、センターリング用、石英チャンバー用、アルミチャンバー排気バルブ等に採用されております。
重金属溶出量の定量(溶出液中濃度:ppb)
| 金属名 | Magma350 | Magma100 | 検出限界 |
|---|---|---|---|
| Al | 0.2 | 1.2 | <0.1 |
| Ba | <0.1 | 29 | <0.1 |
| Ca | 0.8 | 380 | <0.1 |
| Cd | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Co | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Cr | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Cu | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Fe | 1 | 4.9 | <0.1 |
| K | 0.3 | 0.8 | <0.1 |
| Li | <0.1 | 0.3 | <0.1 |
| Mg | 0.1 | 97 | <0.1 |
| Mn | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Na | 0.7 | 1.1 | <0.1 |
| Ni | <0.1 | 0.4 | <0.1 |
| Pb | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Zn | 0.1 | 5.5 | <0.1 |
| Si | <100 | <100 | <0.1 |
| 合計 | 3.2 | 520.2 |
加熱発生ガス加熱発生ガス発生量及び成分分析(単位:µg/g)
| 検出成分名 | Magma350 | 検出成分名 | Magma100 |
|---|---|---|---|
| アセトン +ヨードメタン |
8.9 | エタノール +アセトニトリル -ブタナール |
1.5 |
| イソブテナール +酢酸 |
1.3 | トリフロロベンゼン | 0.15 |
| メチルイソプロピル ケトン |
0.38 | ペンタール | 0.26 |
| ペンタデカフルオロ オクタン酸メチル |
0.09 | ヘキサナール | 0.18 |
| 2,2,5,5テトラメチル テトラヒドロフラン |
0.55 | ヘキサメチル シクロトリシロキサン |
0.06 |
| トルエン | 0.75 | 2-ヘプタノン | 0.2 |
| 芳香族炭化水素化合物1 | 3.7 | ヘプタナール | 0.15 |
| キシレン | 2 | ベンズアルデヒド | 0.95 |
| 3.5.5 -トリメチル -2-シクロペンテン -1-オン |
0.15 | オクタナール | 0.13 |
| エチルトルエン | 0.04 | ノナナール | 0.12 |
| トリメチルベンゼン1 +炭化水素化合物1 |
0.19 | デカナール | 0.1 |
| トリメチルベンゼン2 | 0.4 | フタル酸ジエチル | 0.95 |
| 炭化水素化合物2 | 0.11 | トリアチルイソシアヌラート +1,1-ビズ(トリル)エタン1 |
0.14 |
| トリメチルベンゼン3 +炭化水素化合物3 |
0.16 | アジピン酸ジイソブチル | 0.15 |
| N-メチル -2-ピロリドン |
1 | 1.1-ビズ(トリル)エタン2 | 0.12 |
| メチルアセフェノン | 0.1 | 2,3-ジヒドロ -2(1-プロペニル)ナフト [1,2-b]フラン |
0.09 |
| イソシアヌル酸トリアリル | 1.1 | 1,1-ビズ(トリル) エタン3 |
0.12 |
| ブタナール | 0.23 | ||
| トータルアウトガス 発生量 |
20.92 | トータルアウトガス 発生量 |
5.7 |
| 試験項目 | 測定値 | 試験方法 | |
|---|---|---|---|
| 常態物性 | タイプAデュロメータ硬さ | 71 | JIS K6253(硬さ試験) |
| 引っ張り強さ(Mpa) | 11.2 | JIS K6251(引張試験) | |
| 100%モジュラス(Mpa) | 2.2 | ||
| 伸び(%) | 469 | ||
| 老化試験 | 温度及び時間 | 200°C ×70時間 |
JIS K6357(老化試験) |
| タイプAデュロメータ硬さ変化 | +1.0 | ||
| 引張強さ変化率(%) | -17.9 | ||
| 伸び変化率(%) | +4.1 | ||
| 応用変化率(%) | +13.6 | ||
| 温度及び時間 | 230°C ×70時間 |
JIS K6357(老化試験) | |
| タイプAデュロメータ硬さ変化 | +2.0 | ||
| 引張強さ変化率(%) | -35.7 | ||
| 伸び変化率(%) | +34.3 | ||
| 応用変化率(%) | 0 | ||
| 温度及び時間 | 245°C×70時間 | JIS K6357(老化試験) | |
| タイプAデュロメータ硬さ変化 | +1 | ||
| 引張強さ変化率(%) | -42.0 | ||
| 伸び変化率(%) | +115.4 | ||
| 応用変化率(%) | -13.6 | ||
評価装置：エッチング装置
使用温度：200°C以下
使用ガスO2,CF4
使用部位：ゲートバルブ弁体
