取扱い商品 – Magma250半導体グレード シリーズ（Magma O-ring）
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Magma O-ring（マグマオーリング）
Magma250半導体グレード シリーズ
商品のご紹介
Magma250は半導体、液晶パネル製造装置用に開発されたウェットエッチング装置にも使用出来、エッチング液への重金属の溶出が少ない材質です。
又、CVD装置等のビューポートでの採用や排気系配管接続部位での使用も可能です。
使用用途
ウェットエッチング装置パネル搬送部、センターリング、ガス導入部、スリットバルブ、排気バルブなどに採用されております。
| 試験項目 | 測定値 |
|---|---|
| 1.常態試験 | |
| タイプAデュロメータ硬さ | 71.6 |
| 比重 | 1.5 |
| 引張強さ(Mpa) | 15.2 |
| 伸び(%) | 437 |
| 100%応力(Mpa) | 3.3 |
| 2.浸漬試験(試験液:NaOH20%) | |
| 温度及び時間 | 常温×10日間 |
| 硬さ変化(Point) | -0.5 |
| 質量変化率(%) | 0.5 |
| 体積変化率(%) | 0.73 |
| 3.浸漬試験(試験液:エチレンジアミン99%) | |
| 硬さ変化(Point) | -10.9 |
| 質量変化率(%) | 5.26 |
| 体積変化率(%) | 8.36 |
| 4.圧縮永久歪試験(圧縮率25%) | |
| 温度及び時間 | 175°C×22時間 |
| ひずみ率(%) | 29.3 |
| 温度及び時間 | 175°C×70時間 |
| ひずみ率(%) | 44.5 |
| 5.耐薬品性 | |
| 塩酸 | A |
| エチレンジアミン | A |
5.耐薬品性について
※アミン浸食後、試験体に色変化が見られた。
薬品、溶剤に対する抵抗性は、資料の体積変化の内容によりA～Dのランクをつけた。
A．優･･･全く、あるいはほとんど影響なし、体積変化率10%以下。
B．良･･･少しの影響は見られるが、条件により十分使用に耐える。体積率50%以下。
C．可･･･なるべく使用しないほうがよい。体積変化率100%以下。
D．不可･･･著しい影響があるため、使用に適さない。体積変化率100%を超える。
重金属溶出量の定量(溶出液中濃度:ppb)
| 金属名 | Magma350 | Magma100 | 検出限界 |
|---|---|---|---|
| Al | 0.2 | 1.2 | <0.1 |
| Ba | <0.1 | 29 | <0.1 |
| Ca | 0.8 | 380 | <0.1 |
| Cd | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Co | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Cr | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Cu | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Fe | 1 | 4.9 | <0.1 |
| K | 0.3 | 0.8 | <0.1 |
| Li | <0.1 | 0.3 | <0.1 |
| Mg | 0.1 | 97 | <0.1 |
| Mn | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Na | 0.7 | 1.1 | <0.1 |
| Ni | <0.1 | 0.4 | <0.1 |
| Pb | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| Zn | 0.1 | 5.5 | <0.1 |
| Si | <100 | <100 | <0.1 |
| 合計 | 3.2 | 520.2 |
加熱発生ガス発生量及び成分分析(単位:µg/g)
| 検出成分名 | Magma250 |
|---|---|
| アセトニトリル+アセトン | 2.6 |
| 酢酸 | 1.7 |
| N-メチル-2-ピロリジノン | 0.62 |
| ノナナール | 0.31 |
| グルタル酸ジメチル | 0.23 |
| デカナール | 0.21 |
| エチレンジメタクリレート | 0.33 |
| p-イソプロフェニルアセトフェノン | 0.58 |
| ジアセチルベンゼン | 2.6 |
| ペンタデカン | 0.28 |
| ヘキサデカン | 0.89 |
| トリアリルイソシアヌラート | 1.6 |
| 1,1-ビス(トリル)エタン | 1.6 |
| ヘプタデカン | 0.58 |
| オクタデカン | 0.33 |
| トータルアウトガス発生量 | 14.46 |
